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現場の即戦力 岡崎信次 鈴木章義 技術評論社ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ オカザキ,シンジ スズキ,アキヨシ 発行年月：2012年01月 予約締切日：2011年12月07日 ページ数：301p サイズ：単行本 ISBN：9784774149394 岡崎信次（オカザキシンジ） 1970年東京工業大学理工学部電子工学科卒業。

1970年（株）日立製作所中央研究所に入所。

1980年より1年間米国Rensselater　Polytechnic　Instituteに留学。

1994年東京工業大学より工学博士授与。

1995年日立製作所半導体事業部、1998年同社デバイス開発センターに異動、同年中央研究所に戻りASETに出向、EUV研究室室長としてEUVリソグラフィ技術の研究に従事。

2002年ASET、EUVプロセス技術研究部部長に就任し、2006年日立中研に戻る 鈴木章義（スズキアキヨシ） 1973年東京大学物理工学専門課程修士修了。

1973年キヤノン（株）に入社。

現在、NGL推進統括部、キヤノンフェロー、SPIEフェロー。

1984年光学論文賞、1985年機械振興協会賞、2005年新機械振興会賞。

1991年東京大学より工学博士授与 上野巧（ウエノタクミ） 1979年東京工業大学大学院理工学研究科博士課程修了（理博）。

1979年（株）日立製作所中央研究所に入所。

1995年同社日立研究所、2001年日立化成工業（株）総合研究所、2002年日立化成デュポンマイクロシステムズ（株）、2005年より日立化成工業（株）筑波総合研究所主管研究員（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 1章　半導体集積回路の発展とリソグラフィ技術／2章　光リソグラフィ技術／3章　電子線リソグラフィ技術／4章　X線・EUVリソグラフィ技術／5章　その他のリソグラフィ技術／6章　マスク技術／7章　レジスト技術／8章　計測評価技術／9章　リソグラフィ技術の課題と今後の展望 本 科学・技術 工学 電気工学 科学・技術 その他

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